기술
1600°C 진공/대기압 관상로 CVD 시스템(CVD-TF)은 진공, 제어 가능한 분위기 및 고온의 실험 환경을 제공하며 반도체, 나노 기술, 섬유 및 기타 분야에서 사용됩니다. 이 CVD 성장 시스템은 실리콘 카바이드 코팅, 세라믹 기판 전도성 테스트, ZnO 나노구조의 제어 가능한 성장, 세라믹 커패시터(MLCC) 분위기 소결 및 기타 실험과 같은 CVD 공정에 적합합니다.
1600°C 진공 분위기 관상로 CVD 시스템
1600°C 진공/대기압 관상로 CVD 시스템(CVD-TF)은 진공, 제어 가능한 분위기 및 고온의 실험 환경을 제공하며 반도체, 나노 기술, 섬유 및 기타 분야에서 사용됩니다. 이 CVD 성장 시스템은 실리콘 카바이드 코팅, 세라믹 기판 전도성 테스트, ZnO 나노구조의 제어 가능한 성장, 세라믹 커패시터(MLCC) 분위기 소결 및 기타 실험과 같은 CVD 공정에 적합합니다.
- 모델CVD-LTF16P/ CVD-LTF16T Series
- 상표LABOAO
- 포트중국의 모든 항구
- 꾸러미합판 케이스 패키지
풍모
1.The 로는 다결정질 물라이트 섬유 진공 흡착으로 만들고, 온도 분야는 획일합니다 에너지 절약은 50% 이상입니다
2.자체 개발한 공기 전환 및 단열 기술은 상자에 있는 각 구성 요소의 수명과 일정한 온도 효과를 보장합니다.
3. 전기로가 시작되면 동시에 배기 팬이 자동으로 작동합니다. 테스트 후 배기 팬은 로 본체의 온도가 60 °C보다 낮아질 때까지 계속 작동하고 배기 팬이 자동으로 정지하여 로 본체의 표면을 효과적으로 보호합니다.
4. 자동 전원 차단, 과열 보호 기능 및 누출 방지 기능으로 퍼니스 도어가 열려 사용의 안전을 보장합니다.
5. 회로는 연속 가열 출력 모드, 이중 회로 전원 공급 장치를 채택하고 강하고 약한 전류의 별도 배선으로 시스템의 안정성을 향상시킵니다.
6. 가열 모듈은 제어 신호에 대한 유도 전기의 간섭을 피하는 출력 전력을 조정하기 위해 DC 신호를 채택합니다.
7. 저전압 금속 버튼은 상태 표시등, 안전하고 직관적인 작동과 함께 작동 버튼에 사용됩니다.
8. 상부 및 하부 퍼니스 본체는 항공 플러그로 연결되어 안전하고 신뢰할 수 있으며 연결이 편리합니다.
9. 가스 회로 어셈블리는 내식성, 대기 내 부식성 및 고온 저항성을 가지며 비자 성인 식품 등급 316 스테인리스 강으로 만들어집니다.
10. 디지털 흐름 표시 장치를 채택하고 질량 흐름 컨트롤러와 협력하여 데이터를 수집하고 흐름을 제어합니다. 그것은 좋은 반복성, 빠른 응답 속도, 안정성 및 신뢰성의 특성을 가지고 있습니다. (가스 질량 흐름 제어 시스템)
11. 자동 제어 및 수동 제어 전환 기능, 자동 제어 모드는 설정 값을 통해 진공 펌프를 자동으로 열고 닫을 수 있으므로 용기를 특정 진공 압력 범위 내에서 유지할 수 있습니다. 수동 제어 모드에서는 사용자가 진공 펌프 켜기/끄기 버튼을 통해 진공 펌프를 직접 작동합니다. 다양한 실험의 요구를 충족합니다. (중진공 제어 시스템)
12. 솔레노이드 밸브 슬로우 스타트 기술은 진공 펌프를 켠 후 10초 후에 솔레노이드 밸브를 열어 로 튜브의 시스템 압력을 정확하게 유지하고 배기 가스가 로로 되돌아가지 않도록 합니다. 실험 효과에 영향을 미치는 튜브 시스템(중진공 제어 시스템)
13. 과열 경보, 메뉴 잠금, 과열 방지, 전원 복구 지연.
14. 단방향 밸브 기술을 사용하여 가스 흐름을 제어 가능한 압력 범위 내에서 제어하여 안전을 보장합니다.
15. 가스 혼합 탱크 장치를 채택하여 가스가 완전히 혼합된 후 작업실로 유입되어 누출되지 않도록 합니다.
명세서
모델 | CVD-LTF16P50 | CVD-LTF16P60 | CVD-LTF16P80 | CVD-LTF16P100 | CVD-LTF16P60S | CVD-LTF16P80S | CVD-LTF16P100S | |||
CVD-LTF16T50 | CVD-LTF16T60 | CVD-LTF16T80 | CVD-LTF16T100 | CVD-LTF16P60S | CVD-LTF16T80S | CVD-LTF16T100S | ||||
작동 온도 범위 | 300~1600℃ | |||||||||
온도 해상도 | 1℃ | |||||||||
온도 제어 | ± 1℃ | |||||||||
가열 속도 | 0~20℃/분 | |||||||||
가열 영역 길이 | 260mm | 600mm | ||||||||
일정한 온도 영역의 길이 | 120mm | 300mm | ||||||||
진공도 | -0.1MPa | |||||||||
빈로 가열 시간 | <15분 | |||||||||
외부 | 표면에 내약품성 코팅을 한 냉연 강판 | |||||||||
용광로 본체 | 다결정 멀라이트 섬유 | |||||||||
용광로 크기 | 440*390*330 | 780*390*330 | ||||||||
전기로 관 | 커런덤 튜브 | |||||||||
용광로 튜브 크기 | φ50*1000 | φ60*1000 | φ80*1000 | φ100*1000 | φ60*1200 | φ80*1200 | φ100*1200 | |||
히터 | 실리콘 몰리브덴 막대 | |||||||||
화력 | 4KW | 4KW | 10KW | 10KW | ||||||
단열층 | 이중층 강제 공기 전환 | |||||||||
제어 장치 | P: 가져온 프로그램 온도 제어 디지털 디스플레이; T: 7인치 컬러 터치스크린 프로그램 온도 조절 | |||||||||
제어 방법 | 마이크로 컴퓨터 PID 제어 사용 / S-type 이중 온도 영역 분리 온도 제어 | |||||||||
설정 방법 | P: 동작, 디지털 디스플레이 설정을 위해 5개의 버튼을 터치합니다. T: 손가락을 터치하여 설정 | |||||||||
표시 방법 | P: 이중 라인 LED 디지털 디스플레이; T: 컬러 LCD 디스플레이 | |||||||||
타이밍 | 0~999.9시간 | |||||||||
실행 기능 | 고정값 연산, 프로그램 연산 | |||||||||
프로그램 모드 | P: 프로그램 실행, 4개의 곡선, 총 40단계; T: 50단계는 저장된 프로그램을 호출할 수 있습니다. | |||||||||
감지기 | 유형 S 열전대 | |||||||||
보조 기능 | P: 보정 기능; T: 보정 기능, 실시간 곡선 기록, U 디스크 데이터 내보내기 | |||||||||
안전 장비 | 과전류 누설 보호 스위치 | 과전류 보호 스위치 | ||||||||
공기 경로의 수 | 3개 채널(특정 필요에 따라 공기 채널 수를 선택할 수 있음) | |||||||||
흐름 범위 | 0-0500sccm(표준 ml/min, 옵션) 질소 표준 | |||||||||
정도 | ±1%F.S | |||||||||
응답 시간 | ≤4초 | |||||||||
작동 온도(유량계) | 5-45℃ | |||||||||
작업 압력 | 인레트 압력 0.05-0.3MPa (게이지 압력) | |||||||||
시스템 연결 | KF 빠른 연결 벨로우즈, 고진공 수동 플래퍼 밸브 및 디지털 디스플레이 진공 측정기 채택 | |||||||||
시스템 진공 범위 | 10-100Pa | |||||||||
진공 펌프 | 2단 기계식 펌프의 이론적 극한 진공도는 3x10-1Pa, 펌핑 속도는 4L/s, 공기 배출구에는 오일 필터가 장착되어 있고 정격 전압은 200V이며 전력은 0.55Kw입니다. | |||||||||
CVD 시스템 구성 | 1600도 진공관로(선택적 단일 온도 영역, 이중 온도 영역) 다중 채널 질량 흐름 제어 시스템 진공 시스템 | |||||||||
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